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PI高負載物鏡掃描儀PIFOC系列 PI PIFOC系列的壓電撓性平臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務中提供高動態(tài)性。用于平行和垂直于光軸的XY試樣定位以及物鏡 Z 聚焦的良好適配解決方案可作為標準產品提供。
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PI高負載物鏡掃描儀PIFOC系列
PI PIFOC系列的壓電撓性平臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務中提供高動態(tài)性。用于平行和垂直于光軸的XY試樣定位以及物鏡Z 聚焦的良好適配解決方案可作為標準產品提供。與控制器和所有必需的連接電纜和軟件一起的系統(tǒng)中也可以方便地使用階段。與所有壓電系統(tǒng)一樣,顯微鏡載物臺和掃描儀在交付時都經(jīng)過測量日志預先校準。
用于重型物鏡的長行程高動態(tài)掃描系統(tǒng)
-大目標的高動態(tài)定位和掃描
-諧振頻率1120Hz;560Hz,210g物鏡質量
-類型步進和穩(wěn)定約 6 ms
-行程100 µm
-由于直接測量電容式傳感器,具有高的線性度、穩(wěn)定性和控制動態(tài)
-分辨率 0.3 納米
-零間隙、高精度彎曲導向系統(tǒng),可實現(xiàn)更好的對焦穩(wěn)定性
帶電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量,無需接觸。它們保證的運動線性度、長期穩(wěn)定性和kHz范圍內的帶寬。
自動配置和快速組件更換
機械和控制器可以根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械裝置D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時,數(shù)字控制器的自動校準功能都會使用此數(shù)據(jù)。
應用領域
-超分辨率顯微鏡
-光碟顯微鏡
-共聚焦顯微鏡
-3D成像
-篩選
-干涉測量法
-測量技術
-自動對焦系統(tǒng)
-生物技術
-半導體測試
PI高負載物鏡掃描儀PIFOC系列
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