?。╥nterferometer），也稱為Michelson干涉儀，它是一種廣泛用于光學(xué)測(cè)量和實(shí)驗(yàn)的儀器。在Michelson干涉儀中，光線被分成兩個(gè)路徑，經(jīng)過(guò)兩個(gè)鏡子的反射后再次合并。在合并的地方，如果兩條光路之間存在相位差，則會(huì)出現(xiàn)干涉條紋。通過(guò)測(cè)量這些干涉條紋的位置和形狀，可以計(jì)算出光線的波長(zhǎng)、振幅、相位等參數(shù)。

　　Tablestable干涉儀是一種高精度的Michelson干涉儀，常用于制造和檢測(cè)精密光學(xué)元件和系統(tǒng)。它采用穩(wěn)定的平臺(tái)和支撐結(jié)構(gòu)，以確保兩個(gè)光路之間的穩(wěn)定距離和準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)。此外，Tablestable干涉儀還配備了高精度的控制器和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量和控制。

　　Tablestable干涉儀在精密制造和測(cè)量領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，例如半導(dǎo)體制造、光學(xué)元件制造、航空航天制造等。

　　描述

　　tablestable TFP-1光譜儀基于串聯(lián)3+3通道法布里-涉儀布置。反射鏡間距可在0.1÷30 mm范圍內(nèi)選擇。反射鏡通過(guò)壓電換能器在靜止位置周圍掃描，最大可達(dá)約2.5μm。

　　該儀器主要用于研究布里淵光譜，特別是擴(kuò)展光譜范圍內(nèi)的許多或廣泛的特征。靈活性使得拉曼光譜（約500厘米）-1）可以測(cè)量。該結(jié)構(gòu)允許在輕微失去對(duì)準(zhǔn)的情況下改變鏡面間距，因此可以在幾秒鐘內(nèi)再次實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)。

　　與環(huán)境振動(dòng)的隔離在高分辨率干涉測(cè)量中非常重要。干涉儀將直接測(cè)量小至1?的反射鏡的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。大至10?的動(dòng)作會(huì)降低儀器的性能。這種運(yùn)動(dòng)可能是由與建筑振動(dòng)相關(guān)的加速度引起的結(jié)構(gòu)非共振變形引起的。在TFP-1光譜儀中，干涉儀載物臺(tái)安裝在主動(dòng)隔離系統(tǒng)AVI-35 LPR上，基于定制的TableStable隔振裝置。支架直接固定在底板上，底板本身應(yīng)盡可能牢固地固定在地板上。采用這種解決方案，即使泵直接安裝在光學(xué)工作臺(tái)上也不會(huì)影響干涉儀的運(yùn)行。

　　該光譜儀包括一個(gè)基于雙快門系統(tǒng)LM2的自動(dòng)穩(wěn)定機(jī)制，該機(jī)制允許引入固定參考光束進(jìn)行穩(wěn)定。使用這種方法，鏡子的對(duì)準(zhǔn)可以無(wú)限期地保持。

　　該光譜儀配備了操作所需的所有光學(xué)元件，在工廠對(duì)齊并封裝在黑色保護(hù)外殼中，安裝在堅(jiān)固的鋁制底板上，適合安裝在英制和公制標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)工作臺(tái)上。檢測(cè)器可供選擇，如下所述。光譜儀的使用以及基本檢查和對(duì)準(zhǔn)程序的初步說(shuō)明課程包含在光譜儀的價(jià)格中。或者，該設(shè)備可以由經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的TableStable/JRS人員在現(xiàn)場(chǎng)安裝。

　　儀器特點(diǎn)：

　　-在公共平移臺(tái)上串聯(lián)配置的兩個(gè)法布里-珀羅腔的掃描組合;每個(gè)干涉儀上的三通。

　　-標(biāo)準(zhǔn)反射鏡，扁平至lambda/200并涂有高抗介電涂層，可在480÷540 nm范圍內(nèi)使用?？筛鶕?jù)要求提供不同波長(zhǎng)的定制鍍膜。

　　-通過(guò)電機(jī)控制載物臺(tái)，在30μm至30 mm范圍內(nèi)輕松更改鏡面間距，對(duì)準(zhǔn)損失極小。后視鏡間距可以通過(guò)千分表直接讀取。

　　-平行四邊形平移臺(tái)可防止掃描過(guò)程中反射鏡傾斜。

　　-使用電容式傳感器的反饋回路提供高度線性的掃描。

　　-對(duì)溫度變化保持穩(wěn)定-不需要使用低膨脹材料進(jìn)行結(jié)構(gòu)。

　　-兩個(gè)嵌入式主動(dòng)隔振單元保證了干涉儀反射鏡的振動(dòng)抑制，并提高了系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)的穩(wěn)定性。

　　-掃描范圍0÷2.5μm，使用可變形的平行四邊形掃描平臺(tái)。

　　-儀器響應(yīng)函數(shù)的對(duì)比度高于1010.

　　-掃描期間最大鏡面傾斜度：10-8拉德。

　　-掃描期間的最大抖動(dòng)：1?。

　　-每個(gè)干涉儀都配備了遙控（粗）機(jī)械和（精細(xì)）壓電對(duì)準(zhǔn)控制。

　　-線性掃描：偏離線性度最大值10-4的掃描幅度。

　　-儀器的光學(xué)板包括分析入射信號(hào)束和將光輸出到光檢測(cè)器所需的所有組件。

　　-選擇輸入和輸出針孔以匹配反射鏡間距范圍。儀器的輸入孔徑為f/18。

　　-儀器配置從透射到反射的電動(dòng)切換，以方便對(duì)準(zhǔn)。

　　-儀器的控制單元提供反射鏡的手動(dòng)PZT對(duì)準(zhǔn)控制，使用參考激光束上的反饋回路進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定，輸入快門操作，可選的掃描幅度，通過(guò)串行接口進(jìn)行光子輸出計(jì)數(shù)以及電子遙控功能子集?？捎玫臄?shù)據(jù)采集軟件提供遠(yuǎn)程交互功能。